富士單成分濃度計（機）

日本富士FUJI單成分濃度計（機）的產品簡介：

維護性和高精度內線測量等的FUD-1 Model-13的好處就那樣，成為作為半導體制造工藝用小型單元型發信器作為特長的模型。

FUD-1　Model-53／FUD-1　Model-63　※以下是構成的一例。

單成分濃度計的特點：

實時濃度測量可能，濃度管理系統構筑也簡單
模擬DC4～20mA及數字RS232C標準裝備
標準配備測量錯誤輸出和警報輸出
標準裝備自己診斷功能·錯誤信息表示
小型·輕量小區型發信器在線直接設置可能
采用PFA的接液構件、小輸出設計對藥液沒有影響

優點：

高精度連續計測可能
無需定期調整、校對，無需維護
設置時的各種調整等不需要也容易設置
由于實時輸出的工程的反饋也容易

日本富士FUJI單成分濃度計（機）的用途：

在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等
稀釋工程的各種藥液濃度管理等（H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等）
在清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF?NH4OH?KOH?IPA等）
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等（HF?H2SO4等）

規格：

形式FUD-1 Model-13
測量參數超聲波傳播速度?溫度
顯示：LCD(濃度、溫度、音速/各種參數)
輸出信號模擬DC4～20mA(可對濃度值自由設定)
數字RS232C(濃度、溫度、音速、錯誤代碼)
警報上限測量異常.
電源AC100V～240V 50/60Hz (也可以使用DC24V)
構造面板掛載型（根據DIN規格）?盤內設置型（可選擇安裝在防雨箱中）
環境溫度0～50℃RH85%以下（不結露）
0～100℃特別規格-10～160℃（100℃幅度）
功能：輸出范圍設定、警報輸出設定、濃度顯示移動平均、濃度顯示偏移及增益設定功能、自我診斷功能、全息安全功能、異常值取消
RS485輸出(不能與RS232C同時輸出)
選項溫度輸出（DC4～20mA）
頻道大10ch
適配發信器Model-13：SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5

如有需求，請詳見：FUJI單成分濃度計（機）